晶圆校准器（Pre-Aligner）是一款专为半导体制造及检测设备设计的高精度预定位装置，适用于 4-12英寸（100~300mm）晶圆 的中心校准及平边（Flat）/缺口（Notch）定位，满足晶圆传送与搬运的高精度需求。
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