ITO线路AOI检查机(又叫台阶电极自动检查机、端子划伤自动检查机)主要用于液晶屏线路裸露区域ITO的缺陷检测,提高产线良率和生产厂家的制程控制能力。主要检测线路划伤、短路、断路、微断、异物(脏污)、腐蚀、毛刺等。设备可广泛应用于LCD液晶屏行业、触摸屏行业、光伏行业和LED行业等领域,实现对玻璃基板或柔性基板(PET、CPI等)的ITO线路、银浆线路等的快速检测。
项目 | 性能指标 | ||
机台型号 | D3离线系列 / D4在线系列 | ||
检测系统 | 检测范围 | 液晶屏尺寸:1.8~40寸,最大1000 x 480mm,适用于异形屏检测 | |
检测区域 | 覆盖整个玻璃ITO线路,含Fanout区域线路、CFOG-Pad区域线路等(距离TFT面偏光片边缘15um以外区域) | ||
支持线路 | 直线、波浪线、拐角线路、交叉线、亮暗线(对比度差异)、邦定区域方块等检测,并可过滤IC焊盘线路、ACF固化后颜色、线路交叉等导致的误判 | ||
检测项目 | 线路划伤、微划伤、短路、断路、微断、异物(脏污)、腐蚀、毛刺等 | ||
检测精度 | 最小可检测缺陷尺寸2um×2um | ||
漏检率 | 0 DPPM (漏检率:产线漏检数量/拦检刮伤数量) 说明:检测方式为自制Sample重复测试30次。 |
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过检率 | <5%,且平均误判图片<2张/片 | ||
检测速度 | 7-12 Inch Panel 双台阶≤7sec 12-17 Inch Panel 双台阶≤10sec 17-24 Inch Panel 双台阶≤12sec 24-45 Inch Panel 双台阶≤15sec |
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机台稼动率 | ≥90% | ||
换线时间 | 新机种切换时间:<60 分钟 | ||
已有机种切换时间:<20 分钟 | |||
定位 | 支持全景定位或Mark定位 | ||
其它参数 | 安全防护 | 安全光栅/安全门锁:用于人员安全防护。 FFU:用于洁净设备内部空间达到千级、百级无尘室。 静电:与产品接触材质均为防静电材质,并配有离子风棒,以消除静电。 |
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电源供应 | AC 220V±10% 50~60Hz | ||
接地 | 整机接地任意两点间的电阻<5Ω | ||
离子规格 | 作业区域离子消散速度<5sec;离子平衡电压为100V以内 | ||
使用环境 | 温度:5~40℃。 湿度:25~85%RH(无冷凝)。 |
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机台内部温度 | <40℃ | ||
正压气源 | 0.5~0.6MPa,由厂家提供接入端口 | ||
负压气源 | -80kpa,由厂家提供接入端口 |
缺陷图片