晶圆厚度测量仪

本设备对晶圆以及显示面板部分制程(如晶圆切片、研磨、减薄、划片等)之后的厚度测量等。可同步测试出材料本身的 TTV/BOW/WRAP/SORI等参数误差。

晶圆划裂AOI检查机主要用于晶圆裂片机加工后，用于检测Disco环上芯粒的漏划、离焦、未划开、双晶等较明显的划裂缺陷，通过视觉缺陷检测，检出有无包含以上缺陷即可，即区分出良品和不良品，减少人工，提升检测效率。

固晶焊线AOI检查机，又称引线键合AOI检查机，主要应用于半导体封测领域中的固晶Die Bonding和焊线Wire Bonding后的缺陷进行高效的AOI检测，具有高速度、高精度及高检查覆盖率等特点。具有完全自主知识产权的光学系统模组和核心检测算法，以及AI深度学习算法，适用于检测固晶和焊线制程中出现的晶粒表面、焊点、焊线以及框架表面多种缺陷。

半导体晶圆制备中位错缺陷的形状和分布情况对电子元器件的性能有较大影响，由于掺杂材料、制备工艺的不同，位错分布也不同。本设备用于检查晶圆位错形态和分布，为晶圆材料研究、改进制备工艺提供数据支持。 适用于2吋、3吋、4吋和6吋砷化镓衬底。

Micro-LED检测中的痛点： Micro-LED是将传统LED结构微小化而来，其像素尺寸一般不超过50μm，每一个像素都能独立定位和单独发光，每个晶圆片的Micro-LED晶粒（芯片）高达上千万颗。在制备Micro-LED的过程中，为保证Micro-LED器件的良率，需要进行巨量转移流程前对其进行检测。传统检测多使用测试针直接接触进行测试，但传统探针检测时间长，且需要直接接触，在探针移动过程中会不可避免地对Micro-LED的外观造成物理性损坏。因此，改进现有的检测技术对于降低Micro-LED的整机成本，推进Micro-LED显示产业化进程来说是必不可少的。   本设备优点：可快速对Micro-LED芯片进行无接触巨量视觉检测，判断良品与不良品，并输出Mapping，供下游分拣机分拣使用。避免了传统LED芯片检测过程中，探针对Micro-LED芯片造成的机械性损坏，大大提高了检测芯片使用可靠性。 设备应用场景：Micro-LED或MiniLED晶圆厂商或者封测厂商   机台核心部件   核心部件1：Micro-LED芯片巨量检测的特殊探针 采用Micro-LED芯片巨量检测的特殊探针，该特殊探针核心组件为探针头模块以及柱型金属腔体模块。将待测Micro-LED芯片阵列放置于导电层上，特殊探针竖置于待测Micro-LED芯片阵列上方，且特殊探针与Micro-LED芯片阵列无接触，通过供电模块在特殊探针与导电层之间施加交流高压电，使晶圆上的200个左右的Micro-LED芯片产生电致发光现象，能大大提高检测效率。此外，无接触可以避免传统针测造成的物理损伤。   核心部件2：AOI自动光学检测 通过专业的光学成像机构对检测区域上批量的Micro-LED芯片进行成像，然后在用视觉检测算法准确地对芯片的亮度参数和表面外观缺陷进行检测，采用无接触的方式实现对Micro-LED巨量检测，判断良品与不良品，并输出检测结果和Mapping图，为下游分拣机分拣提供依据。